發(fā)布時(shí)間：2023-07-03 21:42:13 人氣：1077
一、說(shuō)明
高效過(guò)濾器的泄漏測試應當是無(wú)塵室測試中，最復雜、最耗時(shí)間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認：
1.濾網(wǎng)的材料無(wú)破損.
2.安裝恰當。濾網(wǎng)出廠(chǎng)前當然要經(jīng)過(guò)泄漏測試，但是在搬運與安裝過(guò)程難保完全無(wú)損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無(wú)任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會(huì )從邊框漏進(jìn)無(wú)塵室風(fēng)口。就算是FFU系統，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會(huì )產(chǎn)生問(wèn)題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場(chǎng)合。
測試方式有：1.氣膠光度計測試法，2.微粒計數器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法。后兩種現在使用非常少。
二、方法
1111.氣溶膠光度計測試法
111氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol Photometer）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來(lái)模擬無(wú)塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。
1112.微粒計數器測試法
111半導體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計，但是隨著(zhù)制造精密度增加，油性挑戰微粒逐漸不容許在無(wú)塵室使用，因此出現使用干式灰塵當成挑戰微粒，在上游施放，然后用微粒計數器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過(guò)科學(xué)家一步步研究結果，發(fā)現PSL因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導入濾網(wǎng)上游即可
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一.說(shuō)明
?1氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol Photometer）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來(lái)仿真無(wú)塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。
?1泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬(wàn)分之一，由于氣膠光度計可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準確、可靠，美國食品與藥品管制局（FDA）規定，在其管轄范圍內（食品加工場(chǎng)所與醫療制藥場(chǎng)所），所有的濾網(wǎng)泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計。近年來(lái)由于人們懷疑DOP會(huì )導致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類(lèi)似，使用上無(wú)多大差異。
二.測試儀器
?1本測試法使用儀器為氣膠光度計（Aerosol Photometer）與微粒產(chǎn)生器（Aerosol Generator）。氣膠光度計的顯示版有模擬與數字兩種，每年必須校正一次。微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。?
三.測試方式?
1111濾網(wǎng)泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現泄漏、更換或修補、重測，其步驟說(shuō)明如下
1111.在圖面上記錄濾網(wǎng)數量并編號。
1112.確定空調系統正常運轉并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調整平衡完畢。
1113.使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超過(guò)50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風(fēng)量粗略計算，再用氣膠光度計確認。
1114.上游微粒濃度確認后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準確
1115.在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長(cháng)/短邊迂回檢測.
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一、說(shuō)明
1111潔凈度測試是無(wú)塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認無(wú)塵室的潔凈度不受外來(lái)影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過(guò)之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。
二、測試儀器
1111潔凈度測試使用微粒計數器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內，交附報告時(shí)須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規格，最常見(jiàn)的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英?。至于應使用何種設備，要依業(yè)主的規范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數器。
1111Class 1000或更高：0.5μm??
? 11Class 100：0.3μm，0.5um
? 11Class 1到Class 10：0.1μm
若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過(guò)單一微粒計數器的范圍，則應該使用兩部微粒計數器。目前市面上少見(jiàn)立方公尺的微粒計數器，因此若是無(wú)塵室的潔凈度是以ISO為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。?
三、測試步驟：?
1111(1)確定空調系統之測試調整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。
1111(2)確認測試位置與測試點(diǎn)數。
1111(3)取樣時(shí)間：每點(diǎn)的取樣時(shí)間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時(shí)間小于一分鐘，則以一分鐘為準。
111(4)測試位置應均勻分布在無(wú)塵室內，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不可以手持支撐。
111(5)測量點(diǎn)數以公式計算（與209E相同）。
四、驗收標準：
1111潔凈度的驗收基準有二，首先是每點(diǎn)的微粒測量平均值必須低于規定值。潔凈度的第二個(gè)驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴(lài)度上限分析，則該分析值也必須小于規定值。??
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一、測試目的
1111氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無(wú)塵室測試的第一步。風(fēng)速測量的目的，是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿(mǎn)足設計規范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現場(chǎng)的限制，室內換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。
1111單一流向型無(wú)塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無(wú)塵室，由于微?？刂频挠^(guān)念是稀釋?zhuān)皇橇⒓磁懦?，一般而言其換氣量遠比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無(wú)塵室室內風(fēng)速測量。
二、 使用儀器
1111無(wú)塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以?xún)?，因此所使用的風(fēng)速計必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線(xiàn)式風(fēng)速計。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計如Shortridge Velgrid 16點(diǎn)風(fēng)速計。輪葉式風(fēng)速計因使用范圍不同，通常不在無(wú)塵室內使用。熱線(xiàn)式風(fēng)速計（Hot Wire）雖然高頻響應良好，但是低速時(shí) 〈0.5m/s以下〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風(fēng)速計常用的是Thermeister式風(fēng)速計。轉輪式風(fēng)速計由于本身重量問(wèn)題，也不適用低速。檢驗儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內。
三、 測試步驟
111(1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數量并編號。(2)取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。(3)每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計，則每4平方英尺取一點(diǎn)。(4)每測量點(diǎn)必須取5秒的平均。(5)依驗收標準分析所有風(fēng)速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點(diǎn)。(6)記錄所有原始數值，以及分析后的數值。重要的是在非單一流向型無(wú)塵室測試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計不可受到干擾，以免影響準確度。
四、數據分析
1111風(fēng)速測量很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數據分析來(lái)判定。均勻度是由相對標準差來(lái)代表，其計算步驟如下。
11111.平均值：2.標準差??
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一、說(shuō)明
1111風(fēng)量測量的目的通常是用來(lái)計算換氣量，一般是在非單一流向型無(wú)塵室，或是測量空調系統中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無(wú)法使用氣罩的場(chǎng)合（氣罩體積較大，有時(shí)會(huì )受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來(lái)?yè)Q算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準確度非常差，應盡量避免。同樣氣罩通?？梢詼y量送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向測量時(shí)，其測量范圍通常會(huì )降低。?
二、測試儀器
1111風(fēng)量測量應當使用氣罩（Flow Measuring Hood），氣罩的測量范圍是15~2500 cfm，精確度要求為讀數的±3%。由于氣罩本身會(huì )產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應盡量使用原廠(chǎng)氣罩。若有必要自行制造罩子，應注意氣流順暢并且做詳細比對。氣罩的校正非常重要，必須主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
三、測試步驟：
? 11(1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數量并編號。(2)使用恰當尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后測量與計錄。(3)依驗收標準分析所有風(fēng)量，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點(diǎn)。(4)記錄所有原始數值，以及分析后的數值。?
四、 數據分析：
1111風(fēng)量均勻度的計算與風(fēng)速向同，都是由相對標準差來(lái)代表，其計算步驟如下。?
1111.平均值：將所有風(fēng)測量量值取算數平均???2.標準差：計算所有風(fēng)測量量值的標準差
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一、說(shuō)明
1111壓力測量的目的是確認無(wú)塵室空調系統的壓力設定。無(wú)塵室內維持相當的正壓以維持潔凈度，這已經(jīng)是個(gè)common sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來(lái)就取消了。目前常見(jiàn)的正壓值約是10到25 Pascal之間。壓力測量的時(shí)機，應該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結束之后立即測量，尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免影響潔凈度。測量時(shí)，所有門(mén)窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運轉。
二、測試儀器
111壓力測量可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之只要測量范圍與精確度滿(mǎn)足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數的±5%，測量范圍式壓力設計值而定，一般0~5mm Aq（0?50 Pascal）即可涵蓋室內外壓力差之測量。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時(shí)均須檢附合格之校正文件。?
三、測試步驟
1111.必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運轉。
1112.全部門(mén)與開(kāi)口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設為0.0mmAq表壓力。
1113.測定潔凈區域與相鄰較次級潔凈區域之壓差，再測量房間與Gowning room之間壓差，最后測量Gowning room與外部之壓差。
1114.建議壓差值為5~12Pa，并無(wú)強制規定。
1115.記錄所有數值。??
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一、說(shuō)明
111溫濕度測量的目的是確認室內之溫濕度控制在范圍之內，溫濕度對微?？刂茮](méi)有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（Level 3）。但是因無(wú)塵室多半同時(shí)也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進(jìn)階測量（General Tests and Comprehensive Tests），一般測量只是測量溫濕度在測量點(diǎn)的實(shí)時(shí)數據（單一測數據），適用在對溫濕度要求不高的場(chǎng)所。進(jìn)階測量就要紀錄在測量點(diǎn)一段長(cháng)時(shí)間的溫濕度，目的是要觀(guān)察溫濕度隨時(shí)間的變化情形，以確認濕度在控制之下。進(jìn)階測量適用在對溫濕度要求比較高的場(chǎng)所。
二、測試儀器：
111常見(jiàn)的溫濕度儀器是電子式溫度計與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計，一般測量和進(jìn)階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是0-100 ℃，精確是±0.2 ℃。濕度測量范圍是10? 到95? ，精確度是±2? 。一般測量要求溫度之顯示值可顯示0.1 ℃的變化，濕度的顯示值可顯示1? 的變化。進(jìn)階測量則要求溫度之顯示值可顯示0.05 ℃的變化，濕的顯示值可顯示0.1? 的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內者，于測試前或交附報告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
三、測試程序：
1111.確認空調系統已經(jīng)安裝完成，并已完成測試、調整、平衡?？照{系統測試、調整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達到設計要求，為溫濕控制提供正確的運轉環(huán)境，因此系統要先平衡才能測試。
1112.依據平面圖，列出各種溫濕度要求區域，并使系統達到正常運轉狀況，系統應在溫濕度自動(dòng)控制之下，至少運轉24小時(shí)以上。
1113.測試點(diǎn)數為每個(gè)房間至少量一點(diǎn)，并且每個(gè)溫濕度控制區至少量一點(diǎn)，例如每個(gè)Dry Coil的控制范圍要量一點(diǎn)，測量高度為(高架)地板上1.00m。
1114.將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩定后開(kāi)始記錄。
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一、測前準備
潔凈室所有開(kāi)孔皆需封閉氣密處理完成
測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續運轉24小時(shí)以上。
潔凈室環(huán)境需清潔完成
二、測試目的
此檢測動(dòng)作在于確認無(wú)塵室照明系統是否有達到設計要求。
三、測試儀器
專(zhuān)業(yè)照度儀
四、測試步驟
無(wú)塵室光源至少使用100小時(shí)以上，測試前需點(diǎn)亮2小時(shí)以上。
確認測試點(diǎn)及配置圖編號。
將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數值穩定后量測10秒記錄。??
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一、檢測準備
竣工圖面（初版）與相關(guān)規范確認
所有開(kāi)孔皆需封閉氣密處理完成。
測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續運轉24小時(shí)以上。
潔凈室環(huán)境需清潔完成。
二、測試目的
此檢測動(dòng)作在于確認無(wú)塵室噪音是否有達到設計要求。
三、測試儀器
專(zhuān)業(yè)噪音儀
四、測試位置
每40m2取1點(diǎn)為量測點(diǎn)，另針對業(yè)主要求局部增加測試點(diǎn)數。
五、測試步驟：
a.無(wú)塵室所有空調設備及公用設備均為運轉狀態(tài)。
b.確認測試點(diǎn)及配置圖編號。
c.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，高度量測10秒后記錄最大值。
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一、測試目的
平行度測量的目的，是觀(guān)察在工作區域里面氣流的運動(dòng)模式，同時(shí)也可以觀(guān)察儀器設備對氣流的影響。平行度測量應該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測試完畢且通過(guò)之后進(jìn)行，過(guò)早進(jìn)行可能得不到正確的數據。
二、測試方法
一般而言平行度的測量，是由肉眼觀(guān)察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線(xiàn)。。煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚，可正確的反映氣流運動(dòng)模式。但是其共同問(wèn)題是滯空性不足，觀(guān)測時(shí)間太短。測量平行度需要花一些時(shí)間，因此需要大量煙霧或水霧，對無(wú)塵室可能造成污染。另一種方式是使用輕質(zhì)細線(xiàn)，讓細線(xiàn)隨風(fēng)飄舞，然后測量氣流平行度。在無(wú)塵室內普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無(wú)塵室平行度測量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線(xiàn)，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細線(xiàn)，之后觀(guān)察所施放煙霧與鉛垂線(xiàn)的夾角，或是測量細線(xiàn)與鉛垂線(xiàn)的夾角，就可決定氣流的平行度。
三、測試儀器
支架2.鉛垂線(xiàn)3.Flo-Viz細線(xiàn)4 .氣流流向檢測儀
四、測試步驟
用支架設立垂線(xiàn)作為基準線(xiàn)。2.將細線(xiàn)在室內懸吊，使其自然下垂，細線(xiàn)會(huì )隨空氣流向飄移。計算偏移角=tan-1(懸吊線(xiàn)?移量/1220)。6.每3m×3m區域量1點(diǎn)。若是使用煙霧，其方式很類(lèi)似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線(xiàn)的上端點(diǎn)移動(dòng)到與煙霧相接觸，將紅線(xiàn)當成煙霧，再計算夾角就可以了。??
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一、測試介紹
導電度可視為電流流經(jīng)或繞過(guò)某物體之容易程度(relative ease)，電阻的倒數即導電度
二.、測量目的
測量地板上點(diǎn)與點(diǎn)之間(Floor Point to Point)的電阻，和地板與大地間(Floor to Ground)的電 阻
三、Point to Point檢測過(guò)程
溫濕度需已經(jīng)測試調整合格
每組數據需使用兩個(gè)電極
電阻計之開(kāi)路電壓為500奧姆，內阻至少100000奧姆
每個(gè)無(wú)塵室至少量5組數據，取平均值
四、Floor to Ground?檢測過(guò)程
1.這是測量無(wú)塵室地板與接地電極間，導電性的強度。
2.溫濕度需已經(jīng)測試調整合格
3.電阻計兩端的電極，一個(gè)接在地板上，另一個(gè)連在最接近的建筑物柱子上
4.測量位置由Owner指定，應有20個(gè)位置4.5
5.每位置取不同的5點(diǎn)測量，再取平均值5.平均之電阻應小于一百萬(wàn)歐姆
6.所有的原始數據與平均值都需表列于報告中?
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一、測試目的
確認在無(wú)塵室釋放顆粒后，測量在多少時(shí)間內能恢復到釋放之前的潔凈水平。
二、測試儀器
顆粒測試儀（品牌MET ONE），型號：3313、2100、顆粒釋放器。
三、測試位置
任意抽取測量點(diǎn)，也可與相關(guān)人員共同確認測試點(diǎn)。
四、測試步驟
1 .在測試開(kāi)始之前要保證凈房空調系統正常運轉24以上，讓潔凈環(huán)境達到一個(gè)穩定的水平。
2.在抽取的測量點(diǎn)放好顆粒計數器，先做顆粒潔凈度測試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數量，連續測試數分鐘，待取一個(gè)穩定的數據，此時(shí)，再將該房間的整個(gè)空調系統全部斷電。
3.在該房間內釋放顆粒，使于外界非潔凈區域的顆粒自使整個(gè)潔凈室0.3um的顆粒濃度達到之前濃度的10或100倍。此時(shí)再啟動(dòng)空調系統，使其正常運行，測試該潔凈室內顆粒濃度恢復到之前水平所需要的時(shí)間?
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一、測試目的
靜電問(wèn)題不是只有半導體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類(lèi)似問(wèn)題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會(huì )變成非常難處理的問(wèn)題，因為傳輸變的很不容易。另外在里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測試的目地是測量空氣中正離子與負離子的含量，依此數據可仿真物體在該氣流場(chǎng)中之殘余表面電壓。
二、 測試程序
1.于無(wú)塵室內離地32英?(813 mm)處，測量該位置之空氣中正離子與負離子的含量，單位是每立方厘米離子數。測量點(diǎn)數：10個(gè)，或由業(yè)主自己決定。
2.在同一位置做殘余電壓測試。??
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